新技術により低コストで低欠陥・高純度の半導体結晶を製造
未来の電力効率化の実現に向けた大きな一歩
株式会社 FOX
事業概要
PROJECT
低コスト・高効率な酸化ガリウム半導体基板の製造技術確立
東北大学と連携し、貴金属製のるつぼを使用しない、新たな結晶育成技術であるOCCC法*を中心に、
ワイドバンドギャップ半導体として有望視されている高品質のβ-Ga₂O₃バルク単結晶製造技術を確立します。
従来法と比較して、製造コストの大幅削減と高純度化に優れるこの技術は、パワー半導体の市場を新時代へ
と導くことが期待されます。高品質のβ-Ga₂O₃バルク単結晶基板の量産技術を研鑽し、品質・コストの面
において、十分社会実装に可能なステージまで到達させ、市場へ提供していく責務を果たし、パワー半導体
市場にウエハの製造および加工技術開発を行うメーカーとして参入してまいります。
次世代の省エネパワー半導体β-Ga₂O₃の社会実装と普及の後押し
β-Ga₂O₃はワイドバンドギャップ半導体としての高い特性を持ち、高効率な電力変換を可能にするため、
次世代の省エネパワーデバイスとして期待されています。
当社は、研究開発を推し進め、β-Ga₂O₃を活用した新しいパワー半導体デバイスの社会実装とその普及を、
高品質で低コストな基板の量産により、ウエハ量産メーカーとして後押しし、パワー半導体開発企業と
連携し、電気自動車や再生可能エネルギーのインフラにおける需要や市場を拡大していきます。
持続可能な製造技術と環境負荷の低減
貴金属坩堝を使用せずに結晶を成⾧させるOCCC法は、次世代パワー半導体のβ-Ga₂O₃のウエハ製造工程に
おける根本的なLCA*の向上、材料の使用効率を高め、環境負荷を減少させる技術として注目されています。
当社は次世代パワー半導体β-Ga₂O₃の社会実装と普及を後押しすることにより、従来Si半導体の電力損耗比率を根本的に解決し、持続可能な重要技術として環境配慮型のパワー半導体事業を後押しすることで、2050年までに目標としているカーボンニュートラルを電力分野で貢献いたします。
*NICHe:New Industry Creation Hatchery Center （未来科学技術共同研究センター）
*OCCC法:Oxide Crystal growth from Cold Crucible
*LCA:Life Cycle Assessment
FOXの事業領域
ファウンドリー半導体メーカー
製品
インゴット
単結晶製造
ラッピング・
ポリッシング
（鏡面化）
成膜ウエハ完成
（エピタキシャル
ウエハ）
プレイヤーが限定的であり、技術によるブレイクスルーによりゲームチェンジが確実に狙える領域であること
日本がイニシアチブを
有しているウェーハ製造に特化
応用物理の領域であり、製法特許による囲い込みが可能
代替技術開発が難しく、長期で優位性を確保が可能
ウェーハ製造に特化することで多くの半導体サプライヤーを顧客とすることができる
ウェーハ・材料製造に特化
OCCC法によるβ-Ga₂O₃結晶育成の様子
OCCC法により生成されたβ-Ga₂O₃単結晶
β-Ga₂O₃ウエハ（8x10mm）
FOXの研究者たちは数多くの論文を発表してきました。
注目すべき革新的な論文および記事をお読みください。
代表挨拶
MESSAGE
私たち株式会社FOXは、大学発の革新的な技術を活用し、パワー半導体（酸化ガリウム）の製造におけるコスト課題と技術的な障壁を克服するために、２０２４年４月に設立されました。 酸化ガリウムパワー半導体は、これからの電力効率化と省エネ技術の核となる存在です。私たちは、酸化ガリウム基板のコストを従来より大幅に削減し、それにより新たなパワー半導体の社会実装を加速させ、省エネと脱炭素社会の実現に貢献することを目指しています。 特に、カーボンニュートラルへの移行が求められる現代において、パワー半導体の役割はますます重要になっています。私たちは、この技術を通じて、電力消費の最適化やエネルギー効率の向上に取り組み、カーボンニュートラル社会の実現に向けて具体的な貢献を果たすことを決意しております。 当社は、2022年に2インチ径の酸化ガリウム単結晶の作製に成功した東北大学金属材料研究所および未来科学技術共同研究センター吉川研究室、そして東北大学発ベンチャー株式会社C&Aの技術を引き継ぎ、その技術開発部門を独立させる形で起業いたしました。 大容量型育成装置の導入やその他の開発を通じて、酸化ガリウム基板の大規模生産体制を確立し、日本の半導体産業の復活に貢献したいと考えています。 当社のビジョンは、「日本半導体産業の復活に向けた挑戦と創造」です。カーボンニュートラル社会に貢献し、次世代の省エネデバイスをリードする企業として引き続き、皆様のご支援を賜りますようお願い申し上げます。
代表取締役社⾧
会社概要
COMPANY
商 号
本 店
設 立
代 表
資 本 金
事業内容
主要株主
役員構成
株式会社ＦＯＸ
宮城県仙台市太白区砂押南町６番５号
令和６年４月１１日
代表取締役社⾧小野寺晃
1億4,400万円（2024年10月1日現在※ 2億7,950万円資本準備金含む）
結晶材料の開発、設計、試作、実験、解析、評価
結晶材料及び半導体製品の製造
結晶材料およびその応用製品の製造販売
結晶材料の研究開発、製造販売及び評価に関するコンサルティング
岩谷ベンチャーキャピタル（※５０音順）
東北テックベンチャーズ
マクニカ・インベストメント・パートナーズ
取締役小野寺晃
取締役鎌田圭（国立大学法人東北大学未来科学技術共同研究センター（NICHe*） 准教授）
取締役小倉喜一
取締役庄子育宏
監査役川添良幸（国立大学法人東北大学NICHe シニアリサーチフェロー）
技術顧問吉川彰（国立大学法人東北大学金属材料研究所NICHe 兼任教授）
会社沿革 ※グループ・関係事業含む
2011年 Ce : GAGGシンチレータ結晶材料の開発 2012年11月 株式会社C&A 創業 東北大学金属材料研究所 吉川研究室の単結晶の知財を活かし、事業に結びつけるため、東北大学発ベンチャーとして設立 2020年 C&A社 経済産業省選定 2020年版「グローバルニッチトップ（GNT）企業100選」 に選定 2021年 2016年GNT企業100選企業選出されたオキサイドのIPOの達成 2022年4月 OCCC法による酸化ガリウム結晶の製造実証に成功 2024年4月 株式会社FOX 創業 2024年6月 科学誌Natureの姉妹紙Scientific ReportsにOCCC法の研究成果が掲載されるScientific reports 14, Article number: 14881 2024年8月 NEDO 第4次 ディープテック・スタートアップ支援事業（DTSU）STSフェーズを採択 2024年9月 第三者割当増資により、2億7千万円資金調達
社名のFOXの由来 : Functional Oxide X'tal
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